Шүүлтүүрийн элемент
DH шүүлтүүр элемент, hankson цуврал шүүлтүүр элемент, Доминик шүүлтүүр элемент, hailos шүүлтүүр элемент гэх мэт.
Техникийн параметр
| Шүүлтүүрийн түвшин | Шүүлтүүрийн нарийвчлал | Үлдэгдэл тос | Эхний даралтын уналт |
| C зэрэг | 3мкм | 5ppm | ≤0.007МПа |
| Т анги | 1 мкм | 1ppm | ≤0.01МПа |
| А зэрэг | 0.01μm | 0.01ppm | ≤0.013МПа |
| H анги | 0.01μm | 0.003ppm | ≤0.013МПа |
